真空退火爐的性能主要體現(xiàn)在下面幾個(gè)參數(shù)上：放氣、抽氣速率、極限真空和泄漏率。
1、放氣
放氣是材料在真空中慢慢蒸發(fā)的現(xiàn)象，是真空性能上需要考慮的主要問題。在真空系統(tǒng)中，任何固體材料表面，都可能存在液體和氣體堆積而形成的分子層，這些分子層隨著壓力降低而逐漸蒸發(fā)。惰性氣體和揮發(fā)性溶劑放氣速度相對(duì)快些，水蒸氣和油會(huì)附著在表面，會(huì)在幾個(gè)小時(shí)后才蒸發(fā)。灰塵顆粒、多孔材料和其他外來物會(huì)增加系統(tǒng)的表面積，因而可引起更多的放氣出現(xiàn)。
溫度和輻射會(huì)給一些吸收的分子提供足夠的能量，使其脫離表面。升高爐子溫度會(huì)逐漸釋放出本來在低溫下會(huì)保持在表面的分子。因此，隨著爐子加熱，放氣現(xiàn)象會(huì)增多。爐子溫度降低或保持恒溫可減少這種情況。
保持清潔是減少放氣的關(guān)鍵。另外，用惰性氣體或氮?dú)獯迪矗懦齼?nèi)部空氣，可避免系統(tǒng)表面暴露在空氣中時(shí)形成水蒸氣膜。爐腔打開后，對(duì)其內(nèi)部進(jìn)行加溫也能達(dá)到這個(gè)效果。要盡量減少爐腔打開的次數(shù)，尤其是在潮濕的天氣時(shí)，不能減少放氣現(xiàn)象的出現(xiàn)并提高真空退火爐的性能。
2、抽空速率
抽空速度是爐腔處于大氣壓時(shí)，真空閥打開，真空腔達(dá)到規(guī)定壓力的時(shí)間，是在任何壓力下(包括抽吸重質(zhì)量氣體)測量系統(tǒng)性能的方法。為了取得可復(fù)現(xiàn)性，爐腔應(yīng)清潔、排空并放氣，而且每個(gè)真空泵已經(jīng)運(yùn)行足夠的時(shí)間，達(dá)到完全抽吸速度。
3、極限真空
極限真空是實(shí)際完成放氣而取得的真空狀態(tài)，這時(shí)泄漏引起的氣體流動(dòng)和真空抽吸系統(tǒng)以規(guī)定壓力排氣的能力平衡。為保持正確性，真空測量儀器必須足夠靈敏并經(jīng)過準(zhǔn)確校準(zhǔn)。
將爐子升高到其最大沮度，加快系統(tǒng)的放氣。將爐子在真空下加熱并冷卻到室溫后，就可以測出真實(shí)的極限真空和泄露速度。真空泵的極限真空稱為“極限低壓”，是取得抽吸系統(tǒng)隔離性能的好方法。
4、泄漏率
泄漏率是指真空關(guān)閉時(shí)真空艙內(nèi)壓力上升的速度，包括兩個(gè)方面:泄漏速度和放氣速度。泄漏速度是氣體通過艙內(nèi)實(shí)際的泄漏點(diǎn)流動(dòng)而引起的壓力上升，是恒定的;放氣速度(包括虛漏)是隨著艙的排空，逐漸接近于零。虛漏是真空艙壁內(nèi)夾帶的體積，慢慢向艙內(nèi)泄漏氣體。
泄漏率以每小時(shí)的微米汞柱(mmHg)值，通常測量1小時(shí)，泄漏率不超過每小時(shí)5mmHg。測量爐腔壓力上升速度時(shí)，排空爐腔并啟動(dòng)循環(huán)加熱，待放氣完成后停止加熱，直至壓力保持恒定(極限真空)，然后關(guān)閉所有的真空閥，按循環(huán)停止按鈕隔離爐腔。這樣可盡量減少關(guān)閉閥門帶來的影響，同時(shí)讓系統(tǒng)達(dá)到平衡。經(jīng)過一小時(shí)后，再次測量真空，計(jì)算單位時(shí)間內(nèi)壓力的上升情況。比如:如果測到的初始?jí)毫?mmHg，經(jīng)過一小時(shí)后為8mmHg，那么上升速度為每小時(shí)3mmHg。
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