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1、極限真空不高及消除
（1）油箱里存油少，油位太低，不能對排氣閥起油封作用，有較大排氣聲，可加入清潔的真空泵油至油標(biāo)中心。
（2）泵油為可凝性蒸汽所污染，真空度下降，可開氣鎮(zhèn)凈化或更換新油。
（3）泵口外接管道、容器，測試儀表管道，接頭等漏氣。大漏時，有大排氣聲，排氣口有氣排出，應(yīng)找出漏氣部位，進(jìn)行消除。
（4）進(jìn)氣咀或氣鎮(zhèn)閥橡膠密封圈裝配不當(dāng)，損壞或老化，應(yīng)調(diào)整或更換。
（5）進(jìn)氣咀油孔堵塞，真空度下降，可先放油，拆下油箱，松開油咀壓板，撥出進(jìn)油咀，疏通油孔。
（6）真空系統(tǒng)嚴(yán)重污染，包括容器、管道等應(yīng)于清洗。
（7）旋片彈簧折斷。應(yīng)于調(diào)換彈簧。
（8）旋片、泵身或銅襯磨損，間隙過大，應(yīng)進(jìn)行檢查、維修或調(diào)換。
（9）泵溫過高，這不但使油粘度下降，飽和蒸汽壓升高，還可能造成泵油裂解。應(yīng)改善通氣和冷卻，如所抽氣體溫度太高，應(yīng)預(yù)先冷卻后再進(jìn)入泵內(nèi)。
2、噴油：
（1）泵內(nèi)存油量過多，油位過高，可放出多余油量。
（2）減霧器中有無泵油或雜物，應(yīng)先檢查或清除。
（3）擋油板位置是否正確牢固。
3、漏油
（1）查看放油螺塞，油箱墊片是否損壞裝配不當(dāng)，是否壓平，螺釘是否擰緊。
（2）油標(biāo)是否擰緊，有機玻璃有無過熱變形，如有上述情況，應(yīng)于調(diào)整更換。
（3）泵身部件與支座連接墊片未墊好，螺釘未擰緊，應(yīng)檢查調(diào)整。
（4）油封裝配不當(dāng)磨損，可進(jìn)行調(diào)換。
4、噪音
（1）旋片彈簧折斷，可調(diào)換彈簧。
（2）有毛刺、臟物或變形，運轉(zhuǎn)發(fā)生障礙，應(yīng)檢查修磨清洗。
（3）軸承磨損，零件磨損，應(yīng)修整或更換
（4）電機出毛病，應(yīng)進(jìn)行檢查。
5、返油
（1）止回閥未關(guān)好，停泵后，油位很快下降。可再開再停觀察變化或拆開檢查。
（2）兩泵蓋內(nèi)油封裝配不當(dāng)或磨損，可進(jìn)行調(diào)換。
（3）泵蓋或泵身平面不平整，可進(jìn)行修整。
（4）排氣閥片損壞，可進(jìn)行調(diào)換。
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