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真空泵氣體微流量表靜態(tài)比擬法

發(fā)布時(shí)間:2013-12-23 標(biāo)簽:

真空泵要是出現(xiàn)真空漏孔該怎么進(jìn)行校準(zhǔn)呢?下面小編就為大家介紹一種氣體微流量表靜態(tài)比擬法,想了解的朋友來了解一下吧。
  首先順次將真空漏孔流出的氣體QL和氣體微流量表流出的氣體Q,別離引人到一個(gè)真空室中,再經(jīng)過限流孔被真空泵抽走,比擬它們?cè)谡婵帐抑挟a(chǎn)生的靜態(tài)失調(diào)壓力輸入信號(hào)(別離為HL和Hs),而后用式劃算出真空漏孔的漏率。
  其實(shí)這種方式還是比較簡(jiǎn)單的,大家要是可以的話不妨就試試哦,相信會(huì)對(duì)大家有幫助的。
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